客制均光修正片(DGF)
完全客制的Lens Uniformity商品，会以实际机台现场勘查及测试结果做调整制作，针对没有做过的机台
针对透镜各种状况做客制化的对应性修正
提供旧型机台完全客制Uniformity升级服务，甚至可直接修正CD Uniformity
原因：
Nikon & Canon 各型号曝光机台 & ASML 193nm，248nm 及365nm 曝光机台，利用光学数据分析及仿真，制作光源均匀化修正模块。藉以修正Tool Uniformity (Tool_U)及 CD Uniformity (CD_U) 及 CD range。
一些机型的 Stray Light 过于严重(透镜雾化)，导致 Tool_U 分布与 CD_U 分布有相当大的差异，造成产品监控与质量产生问题，本团队可直接修正CD_U 至 User 所需求的值。
适用机型：
1）ASML 300mm & 200mm 全部机型(包括 I100 客制 DGF 及 Immersion Type Special DGF)
2）Nikon & canon 各式机型-目前已上机型号 Nikon EX14 S202 S203 S204 & Canon I5+
一次可修正超过11组Settings，主要生产的都容纳进来修正
无需拆下旧品（我司产品），即可仿真下一套Unicom。 完全省下停机收值和复机的时间
交货迅速。取得模拟之后，约七到十天可取得产品
使用我司产品，可方便新增setting或微调Unicom position
敝司可依模拟提供Unicom最佳位置，以供制程fine tune。希望有机会能为您介绍本产品-为需要排队换Projection争取更长使用时间，保持inspec状态。-不用再花大钱更换bottom Lens等等⋯却还是outspec。
